Ostatnim krokiem w procesie rozwoju, począwszy od roku 1980 i kontynuując poprzez obecnej, był "bardzo-integracji na dużą skalę" (VLSI). Rozwój rozpoczął się setki tysięcy tranzystorów w 1980 roku i trwa po kilka miliardów tranzystorów od 2009 r.

Wielokrotne zmiany były konieczne do osiągnięcia tego zwiększoną gęstość. Producenci przeniósł się do mniejszych zasad projektowania obiektów produkcyjnych i ekologicznych, tak aby mogli oni z większą ilością żetonów tranzystorów i utrzymania odpowiedniej wydajności. Ścieżka usprawnienia procesów zostało podsumowane przez International Technology Roadmap półprzewodników (ITRS). Narzędzia do projektowania poprawie na tyle, aby to praktyczne, aby zakończyć te projekty w rozsądnym czasie. Im bardziej energooszczędne CMOS zastąpiony NMOS i PMOS, unikając zaporowy wzrost zużycia energii.

W 1986 roku pierwsze jeden Mb RAM chipy zostały wprowadzone, zawierające więcej niż jeden milionów tranzystorów. Mikroprocesorów przekroczyła milion tranzystorów w 1989 roku i znak miliardów tranzystorów w 2005 roku. Tendencja nadal w dużej mierze nie słabnie, z frytkami wprowadzonych w 2007 roku, zawierającego dziesiątki miliardów tranzystorów pamięci.